隔离式直线加速器共振器拾波电路
实质审查的生效
摘要
公开一种包括拾波回路以监测对直线加速器的腔室施加的电压的监测电路。监测电路与直线加速器电隔离且也与从电路接收输入且控制直线加速器的控制器电隔离。在某些实施例中，监测电路还包括能量采集器以在与控制器不存在任何实体连接的情况下捕获能量。举例来说，此可使用光能或电磁能来达成。在某些实施例中，监测电路包括模/数转换器以将从拾波回路接收到的信号转换成数字值。在其他实施例中，监测电路将模拟电压传递到控制器。来自监测电路的输出可包括正在对相应的腔室施加的电压的振幅及相位。
基本信息
专利标题 ：
隔离式直线加速器共振器拾波电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556517A
申请号 ：
CN202080073445.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
基斯·E·卡威尔
申请人 ：
应用材料股份有限公司
申请人地址 ：
美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道3050号(邮递区号95054)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
贺财俊
优先权 ：
CN202080073445.6
主分类号 ：
H01J37/24
IPC分类号 ：
H01J37/24 H01J37/304 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/24
不作为管子特殊应用的，且未包含在其他组的电路装置
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/24
申请日 : 20200921
申请日 : 20200921
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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