微机械振动系统
公开
摘要
本发明涉及一种微机械振动系统(40a)，该微机械振动系统例如构造为微镜布置。微机械振动系统(40a)包括具有至少一个微镜(1a)的微机械振动体(10a)。在这种背景下，微机械振动体(10a)构造用于围绕振动轴(100)尤其以所述振动体(10a)的谐振频率振动。所述微机械振动体(10a)具有总质量m，所述总质量由质量元件mi(17a、17b)组成。所述质量元件(17a、17b)mi根据所述质量元件(17a、17b)mi与所述振动轴(100)的横向的、水平的间隔(29a、29b)分布。
基本信息
专利标题 ：
微机械振动系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114600030A
申请号 ：
CN202080073896.X
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2020-10-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
F·沙茨H·格鲁茨埃克R·施特劳布T·沙里E·M·坦盖普-恩桥克普S·平特J·巴德尔
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭毅
优先权 ：
CN202080073896.X
主分类号 ：
G02B26/10
IPC分类号 ：
G02B26/10 G02B26/08 B81B3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
G02B26/10
扫描系统
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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