在载体上形成亲水表面或表面区域的方法
实质审查的生效
摘要
在载体(100)的一个或多个硅表面上产生亲水表面或表面区域的方法中，通过加热过氧化氢水溶液(11)在反应器(10)中产生过氧化氢的蒸气相(15)。载体(100)以所述一个或多个要处理的硅表面暴露于蒸气相(15)，由此实现所述硅表面的亲水化。
基本信息
专利标题 ：
在载体上形成亲水表面或表面区域的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555514A
申请号 ：
CN202080074588.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
V·贝克尔F·拉尔默D·潘特尔
申请人 ：
罗伯特·博世有限公司
申请人地址 ：
德国斯图加特
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
章敏
优先权 ：
CN202080074588.9
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81B3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20201012
申请日 : 20201012
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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