用于杜兰桥量子约瑟夫森结器件的生产价值制造的集群工具
公开
摘要
沉积系统包括沉积源和设置在沉积源的沉积路径内的扫描台。扫描台包括支撑平台和机械致动器，支撑平台配置成在其上支撑晶片，机械致动器耦接到支撑平台。机械致动器被配置成相对于沉积源平移支撑平台。沉积系统包括接近掩模，接近掩模设置在沉积源与扫描台之间的沉积源的沉积路径内，接近掩模限定缝隙。沉积系统包括与扫描台通信的控制器，该控制器被配置成控制机械致动器以相对于缝隙平移晶片，使得沉积角度保持基本上恒定。在操作中，接近掩模防止具有不与缝隙对准的轨迹的沉积源材料接触晶片。
基本信息
专利标题 ：
用于杜兰桥量子约瑟夫森结器件的生产价值制造的集群工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616685A
申请号 ：
CN202080076619.4
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-11-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·比德尔S·霍姆斯李宁D·萨达纳
申请人 ：
国际商业机器公司
申请人地址 ：
美国纽约
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
王英杰
优先权 ：
CN202080076619.4
主分类号 ：
H01L39/24
IPC分类号 ：
H01L39/24 C23C14/02 C23C14/04 C23C14/16 C23C14/28 C23C14/34 C23C14/50 C23C14/54 C23C14/58 C23C28/00
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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