包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备
公开
摘要

本发明涉及一种用于辊对板工艺的压印设备,该压印设备包括柔性母版(105)、印版载体(101)和基板(102),其中柔性母版在压印过程中可压在基板上,并且印版载体保持基板,其中印版载体包括补偿材料(114)。补偿材料的面积大于基板的面积,并且基板的边界与补偿材料的边界不接触。

基本信息
专利标题 :
包括具有补偿材料的印版载体的用于辊对板压印工艺的设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114631059A
申请号 :
CN202080077044.8
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2020-11-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
J·M·特尔默伦B·J·蒂图莱尔A·J·范埃芬
申请人 :
莫福托尼克斯控股有限公司
申请人地址 :
荷兰费尔德霍芬
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
牛晓玲
优先权 :
CN202080077044.8
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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