一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法

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摘要

本发明公开了一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法，传感器包括激励电感、应变敏感电容和传感器电感。应变敏感电容包括衬底层、绝缘介质层、结构层悬臂叉指结构、表面电极。应变敏感电容与传感器电感固定连接，构成LC谐振回路。激励电感与传感器电感形成电磁场的近场耦合。LC应变传感器固定在轴承上，通过激励电感无线读取LC谐振回路，根据谐振频率变化计算旋转轴承应力大小。本发明将微机电系统的微型化特征与LC传感器无线无源结构相结合，具有灵敏度高，电容变化大，线性度好，对加速度不敏感特点，可用于旋转轴承中的高灵敏度测量。

基本信息

专利标题：

一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112880628A

申请号：

CN202110028649.4

公开（公告）日：

2021-06-01

申请日：

2021-01-11

授权号：

CN112880628B

授权日：

2022-05-10

发明人：

王立峰张驰黄庆安董蕾

申请人：

东南大学

申请人地址：

江苏省南京市江宁区东南大学路2号

代理机构：

南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

吴旭

优先权：

CN202110028649.4

主分类号：

G01B21/32

IPC分类号：

G01B21/32