一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置

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摘要

本发明提供一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置，由压电激励模块、MOEMS加速度计、两组光信号处理回路和激光器闭环控制回路组成。其中，每组光信号处理回路包括光电探测器，低噪放大器，带通滤波器，模拟解调器，A/D转换器，FPGA控制算法。激光器闭环控制回路由FPGA控制算法，D/A转换器，激光器驱动保护电路和半导体激光器组成。FPGA控制算法由数字解调器模块、滤波器模块、乘法器模块、除法器模块、比例缩放模块、PI控制模块以及信号发生器模块组成。本发明对输出信号中的光源强度分量做归一化处理，实现了光源波动去耦技术，同时采用光源强度闭环控制的方法，有效地抑制了光源波动对输出精度的影响。

基本信息

专利标题：

一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112924720A

申请号：

CN202110106010.3

公开（公告）日：

2021-06-08

申请日：

2021-01-26

授权号：

CN112924720B

授权日：

2022-04-05

发明人：

杨波郑翔李成周陆强

申请人：

东南大学

申请人地址：

江苏省南京市玄武区四牌楼2号

代理机构：

南京众联专利代理有限公司

代理人：

薛雨妍

优先权：

CN202110106010.3

主分类号：

G01P15/093

IPC分类号：

G01P15/093 G01P15/08