灰化设备及灰化方法
授权
摘要
本发明公开了一种灰化设备及灰化方法。根据本发明实施例的灰化设备包括反应室，用于晶圆的灰化处理，得到灰化后晶圆；传送通道，与所述反应室相连接，用于传送所述灰化后晶圆至冷却室；以及所述冷却室，与所述传送通道相连接以接收所述灰化后晶圆，并用于所述灰化后晶圆的冷却，其中，所述灰化处理的温度为第一温度；所述传送通道中的至少一部分的温度为第二温度；所述冷却室的温度为第三温度；所述第二温度低于所述第一温度，所述第三温度低于所述第二温度。根据本发明实施例的灰化设备及灰化方法，能够避免晶圆因温度骤冷而发生破片。
基本信息
专利标题 ：
灰化设备及灰化方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113097047A
申请号 ：
CN202110259110.X
公开（公告）日 ：
2021-07-09
申请日 ：
2021-03-10
授权号 ：
CN113097047B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
解浩楠
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202110259110.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 G03F7/42 H01L21/67 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-07-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20210310
申请日 : 20210310
2021-07-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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