高频非接触式双轴振动台
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摘要

本发明提供了一种高频非接触式双轴振动台,包括隔振基座、激振装置、升降装置以及功能杆机构,所述升降装置包括底部升降机构以及载物台机构,所述激振装置、底部升降机构均安装在隔振基座上;所述载物台机构磁力悬浮于所述底部升降机构的上方并通过所述功能杆机构连接所述激振装置,其中,所述激振装置能够驱使所述载物台机构在所述底部升降机构的上方沿第一方向和/或第二方向运动,所述第一方向垂直于所述第二方向,本发明通过设置互斥的磁体对实现光学载物平台垂直方向非机械接触式磁悬浮,并通过直驱杆组件传递振动进而实现光学载物平台双轴运动,结构简单,成本低廉,操作方便,测试精度高,且具有无机械磨损的优点。

基本信息
专利标题 :
高频非接触式双轴振动台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113049204A
申请号 :
CN202110332843.1
公开(公告)日 :
2021-06-29
申请日 :
2021-03-29
授权号 :
CN113049204B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
杨斌堂张啸杨诣坤乔凤斌金弘哲胡佳成肖杰
申请人 :
上海交通大学
申请人地址 :
上海市闵行区东川路800号
代理机构 :
上海汉声知识产权代理有限公司
代理人 :
胡晶
优先权 :
CN202110332843.1
主分类号 :
G01M7/06
IPC分类号 :
G01M7/06  G01M7/02  H02K7/065  H02N15/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M7/06
••多向测试台
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-07-16 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 7/06
申请日 : 20210329
2021-06-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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