一种提高光栅读数间隙容差的测量装置
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摘要

一种提高光栅读数间隙容差的测量装置,包括光尺读数头和标尺光栅,光线直接穿过标尺光栅发生衍射和干涉,根据泰伯效应,在泰伯曲面附近沿着标尺光栅长度的方向形成“光尺”,由光尺读数头进行“光尺”上强度的读取,标尺光栅为三维结构化的相位透射光栅,增大了在标尺光栅后面同一空间距离附近的成像深度;光尺读数头由光源和半导体感光元件组成;本发明通过对标尺光栅进行结构改造,改变标尺光栅之后的泰伯像的成像深度信息,直接根据同一深度处的光强大小作为位移大小的数据判断依据;增大了在标尺光栅后面同一空间距离附近的成像深度,从而增加了半导体光电接受元件的安装空间范围,也就是说提高了光栅读数间隙的容差。

基本信息
专利标题 :
一种提高光栅读数间隙容差的测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113175881A
申请号 :
CN202110387509.6
公开(公告)日 :
2021-07-27
申请日 :
2021-04-10
授权号 :
CN113175881B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
叶国永张争辉刘红忠赵国博张宁宁
申请人 :
西安交通大学
申请人地址 :
陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
代理机构 :
西安智大知识产权代理事务所
代理人 :
贺建斌
优先权 :
CN202110387509.6
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-03 :
授权
2021-08-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20210410
2021-07-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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