本发明公开了一种基于气动控制的CEMS高效吹扫阀装置，包括阀体、阀芯、阀杆和弹簧；阀体内设有阶梯柱形的盲孔，所述盲孔分为内腔一和内腔二；内腔一通过通孔一与取样探头的测量腔相连通，内腔二通过通孔二与滤芯或吹扫区域相连接；弹簧置于内腔一和内腔二中，阀芯置于内腔二中，所述阀芯为顶部密封、底部开口的空心圆柱体，阀杆为包括管状结构和法兰结构；管状结构穿过法兰结构的孔状结构与法兰结构相连接，法兰结构封堵于阀体的底部，法兰结构的外径大于内腔二的内径；阀杆位于内腔二中，无外力作用时，阀芯在自身重力和弹簧的作用下，通孔一和通孔二相连通，阀芯在向上方向的力的作用下上移直到阀芯堵住内腔一的下端开口，阀杆与通孔二相连通。