一种磁浮重力补偿器
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摘要
本发明涉及半导体集成电路装备技术领域，公开一种磁浮重力补偿器。磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括动子磁钢组件和定子磁钢组件；动子磁钢组件包括动子磁钢部件；定子磁钢组件的第一定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第一磁浮补偿力；定子磁钢组件的第二定子磁钢部件对动子磁钢部件产生第二磁浮补偿力；第一磁浮补偿力和第二磁浮补偿力方向相同，动子磁钢部件能够由基准点沿Z轴的正方向或反方向移动产生位移量，基准点的位置为动子磁钢部件、第一定子磁钢部件和第二定子磁钢部件的水平中心线在Z轴重合的位置；第一磁浮补偿力随着位移量的增大而增大，第二磁浮补偿力随着位移量的增大而减小。
基本信息
专利标题 ：
一种磁浮重力补偿器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112994526A
申请号 ：
CN202110442242.6
公开（公告）日 ：
2021-06-18
申请日 ：
2021-04-23
授权号 ：
CN112994526B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
胡兵龚威蒋贇
申请人 ：
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202110442242.6
主分类号 ：
H02N15/00
IPC分类号 ：
H02N15/00 H01L21/683
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-07-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 15/00
申请日 : 20210423
申请日 : 20210423
2021-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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