本发明公开了一种多孔叠氮化物/高能炸药微爆炸序列薄膜及其制备方法。所述方法以多孔叠氮化物起爆药薄膜为衬底，采用旋转涂覆的方式使高能炸药溶液均匀渗透入多孔结构起爆药，待溶剂挥发，高能炸药在多孔骨架内重结晶，从而制得多孔叠氮化物/高能炸药微爆炸序列薄膜。相比于多孔叠氮化物起爆药薄膜，本发明制备的微爆炸序列薄膜具有装药密度大、能量输出高、静电感度低等显著优势。另外，该制备工艺安全可靠，可操作性强，不仅可以解决常规独立装药面临的体积大、装药工艺复杂等问题，而且与MEMS工艺完全兼容，有助于实现微爆炸序列在微器件或芯片上的原位集成。