一种用于真空密封的石英产品的加工方法
授权
摘要
本发明公开了一种用于真空密封的石英产品的加工方法,涉及高纯石英加工领域,通过将高纯石英材料线切割、平面研磨、加工中心加工、平面研磨、加工中心加工及面抛光、脱脂洗净、煮沸洗净、超声波洗净、化学洗净、包装,得到的石英产品表面外观状态良好,石英产品的关键真空面得到有效保证,工艺路线简单,尺寸精度高,可批量制造,能够满足目前半导体行业设备需求;该加工方法中通过将石英粗品放置于洗涤液中进行化学洗净,洗涤液由洗涤助剂溶于水中制成,洗涤助剂的分子是一种四个苯环、三条疏水长链的分子结构,表面活性高,能够将油脂、灰尘、金属离子脱离石英粗品表面而进入水中,使得该石英产品表面洗涤的充分,洁净度高。
基本信息
专利标题 :
一种用于真空密封的石英产品的加工方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113414890A
申请号 :
CN202110634594.1
公开(公告)日 :
2021-09-21
申请日 :
2021-06-08
授权号 :
CN113414890B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
邹琴杨军房玉林
申请人 :
江苏富乐德石英科技有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路19号
代理机构 :
合肥锦辉利标专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈铄
优先权 :
CN202110634594.1
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B24B7/22 B08B3/12 B08B3/08 C07C51/09 C07C59/68 C11D1/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-10-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20210608
申请日 : 20210608
2021-09-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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