一种溶胶-凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法
授权
摘要
一种溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法，本发明涉及一种制备五氧化二钒薄膜的方法。本发明解决现有真空蒸镀法与溅射法制备的V2O5薄膜存在氧空位较多、工艺稳定性差、沉积速率低，含有低价态的钒氧化物的问题；溶胶‑凝胶法制备V2O5薄膜时需要高温熔融V2O5粉末，陈化时间长，制备周期长，薄膜通常粗糙多孔，质量不高的问题。方法：一、制备V2O5溶胶；二、沉积成膜。本发明用于溶胶‑凝胶法制备五氧化二钒薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种溶胶-凝胶法制备五氧化二钒薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113401942A
申请号 ：
CN202110721604.5
公开（公告）日 ：
2021-09-17
申请日 ：
2021-06-28
授权号 ：
CN113401942B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
吴宜勇吴蔚然朱睿健孙成月赵会阳
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司
代理人 ：
侯静
优先权 ：
CN202110721604.5
主分类号 ：
C01G31/02
IPC分类号 ：
C01G31/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01G
含有不包含在C01D或C01F小类中之金属的化合物
C01G31/00
钒的化合物
C01G31/02
氧化物
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-10-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01G 31/02
申请日 : 20210628
申请日 : 20210628
2021-09-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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