陶瓷加热器
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够容易地进行温度特异部周边的均热设计的陶瓷加热器。本发明的静电卡盘加热器(10)在陶瓷制的板(12)中埋设有加热器电极(16)。在静电卡盘加热器(10)中，加热器电极(16)中的包围板(12)的温度变低的温度特异部(T1、T2)的特异部周边部分(S1、S2)与加热器电极(16)中的通常部分(N)相比，厚度形成得薄。
基本信息
专利标题 ：
陶瓷加热器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114390733A
申请号 ：
CN202110742499.3
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-07-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
竹林央史伊藤丈予井上大辅
申请人 ：
日本碍子株式会社
申请人地址 ：
日本爱知县
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈彦
优先权 ：
CN202110742499.3
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H05B3/03 H05B3/06 H05B3/20
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05B 3/02
申请日 : 20210701
申请日 : 20210701
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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