废气处理装置及其排气湿度控制方法
授权
摘要
本申请提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。一种废气处理装置包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。本申请的废气处理装置通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以下。
基本信息
专利标题 ：
废气处理装置及其排气湿度控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113413746A
申请号 ：
CN202110750312.4
公开（公告）日 ：
2021-09-21
申请日 ：
2021-07-02
授权号 ：
CN113413746B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
杨春涛杨春水张坤王继飞
申请人 ：
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座
代理机构 ：
北京乾成律信知识产权代理有限公司
代理人 ：
姚志远
优先权 ：
CN202110750312.4
主分类号 ：
B01D53/74
IPC分类号 ：
B01D53/74 B01D53/18 B01D53/14 B01D53/30
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2021-10-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 53/74
申请日 : 20210702
申请日 : 20210702
2021-09-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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