研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机
授权
摘要
本发明公开了一种研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机，其中，研磨盘窗口盖包括窗口盖本体和保护件；保护件设于窗口盖本体上，以用于在研磨时与研磨垫接触。本发明改进了研磨盘窗口盖的结构，解决了研磨盘窗口盖容易被研磨垫粘下来的问题，保护了研磨盘窗口盖，避免了多次重新安装，也解决了因研磨盘窗口盖安装不到位而导致研磨垫磨平的问题。
基本信息
专利标题 ：
研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113319736A
申请号 ：
CN202110787237.9
公开（公告）日 ：
2021-08-31
申请日 ：
2021-07-12
授权号 ：
CN113319736B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
田国军崔凯
申请人 ：
北京烁科精微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
王锴
优先权 ：
CN202110787237.9
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34 B24B37/20 B24B37/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-09-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/34
申请日 : 20210712
申请日 : 20210712
2021-08-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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