本发明涉及一种扫描隧道显微镜针尖处理装置，该装置包括真空腔体、外接电源和位于真空腔体内部的退火组件。真空腔体包括视窗法兰、带有电路接线端子的法兰、泵组及其接口法兰、真空规及其接口法兰、控制内部退火钨丝移动的驱动装置和控制内部样品台位置的驱动装置；退火组件包括钨丝、固定钨丝的支撑杆、针托样品架和样品台。该针尖处理装置能够实现在真空条件下对扫描隧道显微镜的针尖进行退火，可以有效热解和脱附针尖表面的氧化层和污染物，从而在真空腔体内部直接获得导电性质良好、工作状态稳定的金属针尖。