压力调整真空阀
公开
摘要

本发明提供一种压力调整真空阀,可实现伴随阀体驱动的振动的降低。压力调整真空阀包括:阀体;驱动部(71),对阀体进行开闭驱动;作为开度控制部的控制部(72),对由驱动部(71)驱动的阀体的开度进行控制;以及作为设定部的控制部(72),将从第一开度开始驱动至驱动停止为第二开度为止的阀体驱动的驱动参数,设定为使阀体驱动电力下降。

基本信息
专利标题 :
压力调整真空阀
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114294434A
申请号 :
CN202110879003.7
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-08-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
中村雅哉小崎纯一郎
申请人 :
株式会社岛津制作所
申请人地址 :
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 :
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 :
薛恒
优先权 :
CN202110879003.7
主分类号 :
F16K3/06
IPC分类号 :
F16K3/06  F16K31/04  F16K37/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K
阀;龙头;旋塞;致动浮子;通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀,即带闭合元件的切断装置,闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/02
带有平的密封面;其所用填料
F16K3/04
带有转动式闭合元件
F16K3/06
以闭合板的形式配置在进出通道之间
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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