显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法
公开
摘要
提供一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。一实施例涉及的显示装置的制造装置包括：腔体；目标物，配置在腔体的内部；移送单元，在腔体的内部配置在目标物的一侧，在第一方向上延伸，并且沿着第一方向使对象基板移动；等离子体生成部，生成等离子体来溅射目标物；以及驱动部，控制移送单元和等离子体生成部，以便移动对象基板的同时生成等离子体。
基本信息
专利标题 ：
显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582741A
申请号 ：
CN202110899538.0
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-08-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李俊永鱼善植
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朴英淑
优先权 ：
CN202110899538.0
主分类号 ：
H01L21/60
IPC分类号 ：
H01L21/60 H01L27/32 C23C14/54 C23C14/35
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04
至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/50
应用H01L21/06至H01L21/326中的任一小组都不包含的方法或设备组装半导体器件的
H01L21/60
引线或其他导电构件的连接，用于工作时向或由器件传导电流
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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