石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法
授权
摘要
本发明提供一种石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法，装备包括：数控微纳移动旋转工作台、磨削装置和激光辅助加工装置，谐振子固定装夹在数控微纳移动旋转工作台上，绕Z轴进行回转，并进行连续圆周进给运动，沿Z轴前后移动，磨削装置沿C轴旋转及沿C轴前后移动，对谐振子上不同区域进行超声振动辅助磨削加工，激光辅助加工装置与C轴成一定偏角，对谐振子上即将加工表面辅助加热。本发明采用的球形磨头是陶瓷结合剂掺杂氧化铈的金刚石砂轮，磨头杆通过超声波换能器和变幅器与气浮主轴连接实现超声辅助加工，磨削过程中采用CO2激光束实现激光辅助加工，从而利用超声振动辅助和激光辅助实现谐振子的磨削、精密磨削和超精密磨削。
基本信息
专利标题 ：
石英半球谐振子激光和超声辅助磨削制造装备及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113523968A
申请号 ：
CN202110904166.6
公开（公告）日 ：
2021-10-22
申请日 ：
2021-08-06
授权号 ：
CN113523968B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
张振宇万省作孟凡宁吴斌张富旭顾秦铭刘冬冬
申请人 ：
大连理工大学
申请人地址 ：
辽宁省大连市高新园区凌工路2号
代理机构 ：
大连东方专利代理有限责任公司
代理人 ：
徐华燊
优先权 ：
CN202110904166.6
主分类号 ：
B24B19/00
IPC分类号 ：
B24B19/00 B24B1/04 B24B41/04 B24D3/18 B23K26/14 B23K26/352 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B19/00
未包括在其他任一大组的特殊磨削加工的专用机床或装置
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-11-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 19/00
申请日 : 20210806
申请日 : 20210806
2021-10-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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