一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法
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摘要

本发明公开了一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法,包括以下步骤:步骤1,将柔性基体进行表面清洗,得到清洗后的柔性基体;步骤2,在柔性基体的表面通过辊压导电聚合物膜,得到导电聚合物的复合柔性基体;步骤3,将电聚合物的复合柔性基体置于磁控溅射设备中,使用镓化钒晶体和硒化镓晶体作为双靶材,通过真空磁控溅射镀膜技术,得到柔性磁控溅射金属纳米复合材料。本发明公开了一种在柔性基材上磁控溅射金属纳米复合材料的方法,本发明的制备工艺简单、容易操作且能够具有较好的重复性。所制备得到的材料具有较好的韧性,即使不在高温下进行退火处理,也能具有较高的比容量,且基体与各镀层之间具有较强的结合性。

基本信息
专利标题 :
一种柔性磁控溅射金属纳米复合材料的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113637946A
申请号 :
CN202110929663.1
公开(公告)日 :
2021-11-12
申请日 :
2021-08-13
授权号 :
CN113637946B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
王荣福
申请人 :
深圳市汉嵙新材料技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明新区公明街道上村社区冠城低碳工业园D栋十楼
代理机构 :
深圳市博锐专利事务所
代理人 :
林栋
优先权 :
CN202110929663.1
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/02  C23C14/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-11-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/35
申请日 : 20210813
2021-11-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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