一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方...
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摘要
本发明公开了一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法，所述TiAl涂层中包括α‑AlF3纳米颗粒，α‑AlF3纳米颗粒含量为TiAl涂层的5～30vol.％。所述TiAl涂层的制备方法为以TiAl合金靶材和α‑AlF3靶材为原料，在基材表面进行磁控溅射沉积制备涂层；所述磁控溅射为双靶共溅射，溅射时的基材温度为150℃，其中TiAl合金靶材采用直流溅射，功率为0.5～2kW，α‑AlF3靶材采用射频溅射，功率为0.07～0.2kW。双靶共溅射得到涂层后再将所得涂层在600～800℃的温度下热处理5～20h，得到最终的涂层。
基本信息
专利标题 ：
一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113652644A
申请号 ：
CN202110941624.3
公开（公告）日 ：
2021-11-16
申请日 ：
2021-08-17
授权号 ：
CN113652644B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
欧阳佩旋张淑婷孙伟杨谨赫董志超李航吴艳
申请人 ：
北方工业大学
申请人地址 ：
北京市石景山区晋元庄路5号
代理机构 ：
北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张换君
优先权 ：
CN202110941624.3
主分类号 ：
C23C14/16
IPC分类号 ：
C23C14/16 C23C14/35 C23C14/58 C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/16
在金属基体或在硼或硅基体上
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2021-12-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/16
申请日 : 20210817
申请日 : 20210817
2021-11-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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