MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法
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摘要
本发明提供了一种MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法，包括建立在热弹性阻尼影响下加速度传感器品质因子的退化模型；建立因腔体内部材料释气以及腔体的泄漏共同影响下腔体内部压强随时间的变化关系；建立腔体内稀薄气体阻尼与压强之间的关系模型；建立受稀薄气体阻尼影响下加速度传感器品质因子的退化模型；建立在热弹性阻尼以及稀薄气体阻尼共同影响下MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子退化模型，并基于该模型进行退化分析。本发明分析了电容式加速度传感器各种参数与品质因子之间的关系，为电容式加速度传感器的设计及维护提供了参考依据，也为电容式加速度传感器的退化及寿命分析提供了帮助。
基本信息
专利标题 ：
MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113687103A
申请号 ：
CN202110989287.5
公开（公告）日 ：
2021-11-23
申请日 ：
2021-08-26
授权号 ：
CN113687103B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
黄洪钟刘俊作李彦锋米金华刘宇郝晓红曾颖张庭瑜魏钰金
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
代理机构 ：
北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李林合
优先权 ：
CN202110989287.5
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-12-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20210826
申请日 : 20210826
2021-11-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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