本发明涉及基于光学显微镜的YOLOv3数据集制作方法及系统。本发明包括：利用光学显微镜对样品进行划痕图像的采集；对采集到的划痕图像进行统一图像尺寸；对统一尺寸后的图像进行处理以突出划痕；对处理后的图像进行样本扩充；手动标注图像样本中划痕的位置及宽度尺寸，获得手动标注数据；将手动标注数据作为输入训练yolo‑v3神经网络，获得极细微划痕目标检测模型；将图像数据集中的剩余样本输入到极细微划痕目标检测模型中，获得剩余样本的划痕标注结果。本发明大大提高了数据集的制作效率，并且本发明所获得的极细微划痕目标检测模型仍可以用于普通视觉系统所采集图像的检测。