电子系统及鉴定方法
公开
摘要
本公开提供一种具有缺陷鉴定功能的电子系统以及微影制程形成的光阻图案的鉴定方法。该电子系统具有一检测设备以及一处理器，该处理器与该检测设备相关联。该检测设备获取该样品的至少一影像，而一光阻图案使用一微影制程而形成在该样品上。该处理器经配置以自动应用经由一或多个神经网络所实施的机器学习程序，以识别存在于该光阻图案中的至少一个缺陷。
基本信息
专利标题 ：
电子系统及鉴定方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114596249A
申请号 ：
CN202111157487.0
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张宏志朱弘棋涂季旻古文烨
申请人 ：
南亚科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新北市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄艳
优先权 ：
CN202111157487.0
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T7/11 G06T7/13 G06T7/194 G06N3/04 G06N3/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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