一种自适应调节的高性能正负脉冲电镀电源
授权
摘要
本发明提供一种自适应调节的高性能正负脉冲电镀电源，包括若干个输出模块以及电源输入模块，若干个输出模块分别布设于电镀槽的不同位置，其中，输出模块包括阳极输出单元和阴极输出单元，阳极输出单元的输出端电性连接有负载的阳极，阳极输出单元与负载的阳极之间设置有电流检测部，电流检测部检测电镀电流变化以反馈电镀液的离子浓度，并发出离子浓度变化信号；阳极输出单元的输出端电性连接有电压补偿单元，电压补偿单元的输出端与负载的阳极电性连接，电压补偿单元响应于离子浓度变化信号，改变输出电压以调节负载的阳极的电镀电流。本发明具有能够根据电镀液中的金属离子浓度调节电镀时电流大小的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种自适应调节的高性能正负脉冲电镀电源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113890374A
申请号 ：
CN202111184270.9
公开（公告）日 ：
2022-01-04
申请日 ：
2021-10-11
授权号 ：
CN113890374B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
胡栋明
申请人 ：
深圳市金源康实业有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山新区坪山沙坣村同富路同富裕工业区
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
朱鹏程
优先权 ：
CN202111184270.9
主分类号 ：
H02M3/335
IPC分类号 ：
H02M3/335
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2022-01-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02M 3/335
申请日 : 20211011
申请日 : 20211011
2022-01-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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