具有防溅阻挡物的桨腔室
实质审查的生效
摘要
根据本技术的多个实施方式的电镀系统可以包括镀敷腔室，该镀敷腔室被构造成将金属材料沉积到在该镀敷腔室中定位的基板上。该镀敷腔室可以包括转子和容器。所述电镀系统可以包括至少一个阻挡物，所述阻挡物定位在该镀敷腔室中。所述至少一个阻挡物可以界定多个槽。所述至少一个阻挡物可以被构造成限制或者防止流体在该镀敷腔室的操作期间溅到该转子或者该镀敷腔室。
基本信息
专利标题 ：
具有防溅阻挡物的桨腔室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114369859A
申请号 ：
CN202111204724.4
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
诺兰·L·齐默尔曼
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202111204724.4
主分类号 ：
C25D17/02
IPC分类号 ：
C25D17/02 C25D17/00 C25D17/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/02
镀槽；镀槽的安装
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/02
申请日 : 20211015
申请日 : 20211015
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
