提供了一种计量系统，其包括用于离焦点型工艺的投影图案。所述计量系统包括物镜部分、光源、图案投影部分和相机。具有不同放大率和截止频率的不同透镜(例如，物镜)可以用于所述系统中。所述图案投影部分包括具有图案的图案分量。所述图案的至少大部分区域包括不以规则间隔重复出现在所述图案上的图案部分(例如，对应于在所需范围内产生相对平坦的功率谱并且可以与具有不同截止频率的不同透镜一起利用的空间频率的不同频谱)。所述图案被投影在工件表面上(例如，用于产生对比度)，并且获取图像堆栈，从所述图像堆栈确定指示工件表面点的三维位置的聚焦曲线数据。