具有遮挡层的微机电系统装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种具有遮挡层的微机电系统装置，包括一基板、一背板、一振膜、以及一遮挡层，其中背板设置于基板的一侧。基板形成有一开口。振膜设置于基板的一侧且延伸跨越基板的开口，其中振膜形成有一通气孔。遮挡层设置于基板的一侧且包括一襟翼部，其中从垂直于振膜的方向观察时，襟翼部覆盖通气孔的至少一部分。
基本信息
专利标题 ：
具有遮挡层的微机电系统装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114449424A
申请号 ：
CN202111304787.7
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-11-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈志远陈建铭许丰家林文山郭乃豪
申请人 ：
美商富迪科技股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陈小雯
优先权 ：
CN202111304787.7
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00 H04R19/04 H04R31/00 B32B9/00 B32B9/04 B32B3/08 B32B3/24 B32B3/30
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/00
申请日 : 20211105
申请日 : 20211105
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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