制造显示设备的装置和方法
公开
摘要
本申请涉及制造显示设备的装置和方法。用于制造显示设备的装置包括多个工作台、多个臂模块和旋转器。多个工作台在第一方向上彼此间隔开，并且配置成支承目标板。多个臂模块布置在第一方向上，并且在与第一方向相交的第二方向上与多个工作台间隔开。旋转器连接到多个臂模块并且配置成绕在第一方向上延伸的旋转轴旋转。
基本信息
专利标题 ：
制造显示设备的装置和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582776A
申请号 ：
CN202111325860.9
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔明吉李政玟金东祐李相武
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王达佐
优先权 ：
CN202111325860.9
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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