一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置
公开
摘要

本发明公开了一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置,包括激光光源和光束汇聚装置组成,在所述激光光源和光束汇聚装置之间还设有同轴分布的镀膜分光镜,光束汇聚装置设在所述镀膜分光镜的透射光路中,光强传感器设在所述镀膜分光镜的分光光路中,所述光强传感器的信号输出端通过数据线连接运算单元。因为污染物主要是聚集在聚焦镜片附近,本申请将分光镜设置在聚焦镜后方的清洁的光路之内,同时将检测单元的传感器设置在远离灰尘的工作空间,起到延长使用寿命、延长保养周期、提升工作精度的效果。

基本信息
专利标题 :
一种在线光路镜片透光性能的远程检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324252A
申请号 :
CN202111333090.2
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-11-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
梅林梅笑雨李小龙
申请人 :
江苏瑞驰机电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁万达广场写字楼A座5-1608
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
徐振兴
优先权 :
CN202111333090.2
主分类号 :
G01N21/59
IPC分类号 :
G01N21/59  G01N21/94  G01N21/958  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/59
透射率
法律状态
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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