本发明公开了一种集成电路测试系统的数字通道多参数并行校准装置，其具有多个参数校准接口，并包括电压测量模块、电压有效值测量模块、信号脉宽测量模块以及电阻模块，通过设置多个参数校准接口，并设置每一个参数校准接口分别与电压测量模块、电压有效值测量模块、信号脉宽测量模块各自组成一条参数校准回路，从而能够同时对测试系统的电压、电压有效值、信号脉宽进行校准，同时通过设置电阻模块分别与电压测量模块、电压有效值测量模块并联形成新的参数校准回路，进而增加了能够进行同时校准的参数种类，本发明所述数字通道多参数并行校准装置能够对多种参数进行同时校准，极大的提高了集成电路测试系统的校准效率。