本发明提供了一种数字式MEMS扬声器的制作方法，属于微电子技术领域，包括气阀结构的制作方法，气阀结构的制作方法包括：在SOI片的顶层结构层刻蚀获得镂空的固定网格结构；在固定网格结构的镂空及表面沉积介质材料，获得第一绝缘层；在第一绝缘层上刻蚀互联孔；在第一绝缘层上制作多晶硅薄膜，并在互联孔内形成导电硅膜；在多晶硅薄膜上刻蚀获得镂空的活动网格结构，活动网格结构与固定网络结构在图形上形成互补；在多晶硅薄膜上制作Pad引线图形；在SOI片的底层支撑层上刻蚀气流通气孔；去除通气孔对应部位的介质材料，以构成气流通道。本发明基于微电子机械加工工艺制作，能够实现扬声器小体积、高性能、一致性和批量制造中低成本的优点。