本发明涉及微波处理工艺，具体涉及一种低温度、低功率的含碳材料微波处理工艺。本发明提供的含碳材料的微波处理工艺是采用具有自动保护单元及PLC控制单元的微波反应装置实现微波热解的；同时通过自动保护单元及PLC控制单元的联动机制，实现对输入功率的实时在线监控及调控。本发明所述的微波处理工艺可大幅度提升微波能量密度及微波利用效率，产生的热点温度低且均匀，实现了在50‑350℃温度范围内对含碳材料的高效分解，且维持反应所需微波输入功率可低至10W，从而实现了以较低的功率、较低的温度对含碳材料的高效分解，解决了现有微波热解工艺存在的微波输入功率过大、反应和热点温度过高、微波反应器寿命较短、微波功率线性较低的问题。