用于热处理系统的具有合成气体的弧光灯
实质审查的生效
摘要
本公开提供了一种弧光灯。该弧光灯可以包括管。该弧光灯可以包括一个或多个入口，所述一个或多个入口被配置为接收在操作期间循环通过弧光灯的水作为水冷壁，该水冷壁被配置为冷却弧光灯。该弧光灯可以包括多个电极，所述多个电极被配置为在经由一个或多个入口引入弧光灯的合成气体中产生等离子体。该合成气体可以是或可以包含氢气和惰性气体的混合物，混合物中氢气的浓度小于4体积％。氢气可以在产生等离子体之前引入弧光灯。该弧光灯可用于处理工件。
基本信息
专利标题 ：
用于热处理系统的具有合成气体的弧光灯
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551215A
申请号 ：
CN202111410173.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨晓晅罗尔夫·布雷门斯多夫D·卡姆J·西贝尔迪特尔·赫茨勒马绍铭Y·杨
申请人 ：
北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢
代理机构 ：
北京易光知识产权代理有限公司
代理人 ：
武晨燕
优先权 ：
CN202111410173.7
主分类号 ：
H01J61/12
IPC分类号 ：
H01J61/12 H01J61/16 H01J61/52 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J61/00
气体放电或蒸气放电灯
H01J61/02
零部件
H01J61/12
充气物质的选择；特定的工作压强或温度
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 61/12
申请日 : 20211123
申请日 : 20211123
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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