光学测位装置
公开
摘要

本发明涉及确定第一对象相对于相对于第一对象沿至少一个测量方向可移动的第二对象的位置的光学测位装置,包括沿测量方向延伸的与第一对象连接的量具。量具具有带增量测量刻度的第一轨道和带绝对测量刻度的第二轨道。具有至少一个光源和探测器的扫描单元与第二对象连接。探测器包括检测从绝对测量刻度传输到探测平面内的非周期光图案的绝对探测装置和检测从增量测量刻度传输到探测平面内的周期光图案的增量探测装置。还设置光纤板,其由多个彼此相邻布置的光纤组成,其图像入射面面向量具且其图像出射面面向探测器。光纤板作为连续构件布置在绝对探测装置和增量探测装置前面,使得通过光纤板将绝对轨道信息和增量轨道信息都传输到相应探测平面内。

基本信息
专利标题 :
光学测位装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114543663A
申请号 :
CN202111411232.2
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2021-11-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
U·本纳T·努特辛格D·克伦普克J·豪恩赖特
申请人 :
约翰内斯·海德汉博士有限公司
申请人地址 :
德国特劳恩罗伊特
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
姬亚东
优先权 :
CN202111411232.2
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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