用于喷淋头组件的清洁固定装置
公开
摘要
公开了用于清洁喷淋头组件的清洁固定装置。清洁固定装置包括：固定装置主体，其结合有三个或更多个腔，每个腔通过隔板与相邻腔分开，以及与每个腔相关的多个通道，用于将腔与固定装置主体的上表面流体连接。
基本信息
专利标题 ：
用于喷淋头组件的清洁固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114592181A
申请号 ：
CN202111419143.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D.南德瓦纳A.丹布拉D.特兰A.金蒂E.谢罗
申请人 ：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址 ：
荷兰阿尔梅勒
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
焦玉恒
优先权 ：
CN202111419143.2
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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