支撑装置
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种支撑装置，其包括：驱动部件，驱动部件包括定子结构和动子结构，动子结构沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；导向轴，导向轴穿设在定子结构和动子结构中，导向轴的中心轴线与预定轴线重合；导向轴与动子结构固定连接并沿预定轴线的延伸方向相对定子结构可运动地设置；支撑部件，动子结构与支撑部件连接，以驱动支撑部件运动，支撑部件用于支撑硅片。本申请的支撑装置通过将导向轴穿设在定子结构和动子结构中，可以使支撑装置的整体结构比较紧凑，进而使得支撑装置的整体体积较小，本申请的支撑装置可以用作硅片交接装置，以解决现有技术中的硅片交接装置的体积较大的问题。
基本信息
专利标题 ：
支撑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114337184A
申请号 ：
CN202111459889.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
袁嘉欣江旭初彭仁强唐艳文
申请人 ：
上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘鑫
优先权 ：
CN202111459889.6
主分类号 ：
H02K41/02
IPC分类号 ：
H02K41/02 H02K41/035 H02K7/08
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02K 41/02
申请日 : 20211201
申请日 : 20211201
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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