本发明公开了氧化硅高精度固液分离装置，包括浓缩罐、进料管、支管和第二过滤架，所述浓缩罐的上端内部设置有进料管，所述进料管的侧面设置有支管，所述浓缩罐的内部设置有第一过滤机构和第二过滤机构，所述浓缩罐的下端设置有第一连接管；利用溶液带动固定块移动与连接块摩擦，从而产生静电吸引氧化硅发生便宜来增加浓缩罐底部的氧化硅浓度，进而增加分离效率，同时第二过滤桶在进行过滤时，而当水流进入到第二过滤桶内部时会带动其进行旋转，从而避免氧化硅附着在第二过滤桶表面，同时水会带动清洁球进行转动，进一步避免氧化硅附着在第二过滤桶表面，保证分离的效率。