基于应力调制的超高灵敏非晶碳基柔性传感器及其制法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于应力调制的超高灵敏非晶碳基柔性传感器及其制法。所述超高灵敏非晶碳基柔性传感器包括：柔性衬底；设置于所述柔性衬底表面的敏感材料层；所述敏感材料层包括非晶碳膜，且所述非晶碳膜的应力为0.4GPa～5.5GPa，初始电阻值为200kΩ～10MΩ；以及，间隔设置于所述敏感材料层上的两个电极。本发明中超高灵敏非晶碳基柔性传感器的制备工艺简单、成本低廉，兼具超高灵敏度和应变范围广的优势，且具有高重复性、稳定性，可广泛用于可穿戴设备领域。
基本信息
专利标题 ：
基于应力调制的超高灵敏非晶碳基柔性传感器及其制法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114440757A
申请号 ：
CN202111494990.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汪爱英周靖远郭鹏崔丽徐丹李法利李润伟
申请人 ：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王茹
优先权 ：
CN202111494990.5
主分类号 ：
G01B7/16
IPC分类号 ：
G01B7/16 G01L1/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/16
用于计量固体的变形，例如电阻应变仪
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/16
申请日 : 20211208
申请日 : 20211208
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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