本发明公开了一种电子级硫酸用高纯液体三氧化硫生产的方法，三氧化硫泵送至脱重塔，在恒沸点下得到气态的三氧化硫，三氧化硫依次经过滤、冷却后采出；采出的三氧化硫以气态进入脱轻塔中部，气态三氧化硫从脱轻塔中部经填料与塔釜加热后的液体三氧化硫逆流换热，三氧化硫气体冷凝为液态，自脱轻循环泵出口持续采出。工业级三氧化硫泵送至脱重塔进行沸点精馏，脱除发烟硫酸的三氧化硫以气态形式进入三氧化硫脱轻塔，与液体三氧化硫逆流换热，三氧化硫冷凝为液体，气态二氧化硫从塔顶进入尾气系统，脱轻后的液体三氧化硫从脱轻循环泵出口采出，制得高纯液体三氧化硫含量为99.999%，二氧化硫含量低于2ppm，总杂质含量控制在5μg/g以内。