本发明涉及化工领域的硅粉合成硅酸甲酯，具体公开了一种用硅粉直接合成硅酸甲酯生产中合成反应渣浆的处理方法，合成反应渣浆经分离釜充分搅拌静置，上清液进入蒸发釜，通过热媒加热，回收气相从蒸发釜顶进入冷凝器，经冷凝后得到回收液，不凝气通过真空泵排至废气处理；分离釜底部的含固浆料以及蒸发釜底部的高沸物进入干燥机，通过热媒加热，回收气相进入冷凝器，干燥机的底部排出固体残渣。该方法实现固液的完全分离，提高了硅粉直接合成硅酸甲酯生产中原料的利用率和产品的回收率，过程中无废水产生，减轻了环保压力。