废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置
实质审查的生效
摘要
本发明半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置，废气处理燃烧装置的控制方法包括：S1，开启普通燃烧模式，关闭纯氧燃烧模式；S2，确定含氟废气进入反应腔；S3，关闭普通燃烧模式，开启纯氧燃烧模式。本发明仅在含氟废气燃烧时切换至纯氧燃烧模式，缩短了燃烧器的离子棒处于纯氧燃烧的高温时段时长，保证离子棒的工作寿命，以及采用小型纯氧燃烧器结构尺寸小，功率小、保证点火安全、检火简单。
基本信息
专利标题 ：
废气处理燃烧装置的控制方法及废气处理燃烧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114263913A
申请号 ：
CN202111532115.1
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨春水宁腾飞
申请人 ：
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
邹义威
优先权 ：
CN202111532115.1
主分类号 ：
F23G5/50
IPC分类号 ：
F23G5/50 F23G5/12 F23G5/44 F23G7/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F23
燃烧设备；燃烧方法
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G5/00
专门适用于焚烧废物或低品位燃料的方法或设备，例如焚化炉
F23G5/50
控制或安全装置
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F23G 5/50
申请日 : 20211214
申请日 : 20211214
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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