本发明公开一种太阳能硅片制绒后的清洗剂及其清洗工艺，包括一定重量百分比的表面活性剂、螯合剂、溶剂、润湿剂、有机盐和去离子水，将表面活性剂、螯合剂、溶剂、润湿剂、有机盐和去离子水混合配制成太阳能电池片制绒后清洗剂，将碱加入去离子水中，配成浓度为0.002～0.06wt％碱溶液，并向其中加入0.005～0.5wt％双氧水，将太阳能电池片制绒后清洗剂将入碱液中配制成太阳能电池片制绒后清洗液，将硅片放入太阳能电池片制绒后清洗液清洗，清洗剂无挥发，无刺激性气味，清洗效果不弱于原来双氧水工艺，能有效降低双氧水的用量并有效去除硅片表面无机颗粒和有机污渍的吸附，极大地降低了化学品的成本以及使用过程的危险性。