本发明涉及一种高基频石英晶体谐振器的加工方法，包括清洗、镀膜、上架、调频、压封步骤，其中调频步骤中采用横向场压电石英晶体谐振件结构，使用压电石英晶体自动调频设备，利用离子刻蚀对压电石英晶体片未镀电极主面的局部持续刻蚀，使石英晶体片振荡部分变薄，获得逆MESA型高基频压电石英晶体片效果，从而提高谐振件厚度切变振动模式的振动频率。优点：1）此全新型石英晶体谐振器制造方法，解决了石英晶体片无法用机械研磨方法研磨到80MHz频率以上的问题；2）此全新型石英晶体谐振器具有品质因数值高、频率稳定性好、晶体老化率低和产品可靠性高的特点；3）此全新型石英晶体谐振器制造方法，操作简单，频率精确，合格率高，生产成本低。