本发明涉及一种含氟甲基丙烯酸单体的制备方法，特别是一种甲基丙烯酸‑1,1,5‑三氢全氟戊酯的制备方法。该制备方法通过以下步骤实现：在反应釜中加入八氟戊醇、甲基丙烯酸和催化剂、阻聚剂，进行反应；反应完成后，反应液冷却至室温，过滤除去催化剂，得到甲基丙烯酸‑1,1,5‑三氢全氟戊酯粗品；减压精馏，收集的甲基丙烯酸‑1,1,5‑三氢全氟戊酯粗产品再经水洗、干燥、再次减压精馏得高纯度甲基丙烯酸‑1,1,5‑三氢全氟戊酯产品。本发明提供的制备方法，整个反应在负压下进行，利用渗透汽化膜组件将酯化反应产生的水分及时分离，使反应更充分,甲基丙烯酸转化率高，缩短了反应时间，产生的水可以直接回收利用，实现了清洁生产。