本发明实施例提供了一种半导体热处理设备的补偿参数获取方法和设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：确定目标参考温度，通过与目标参考温度对应的历史温度补偿参数对第一温度传感器采集到的温度值进行补偿，持续通过补偿后的温度值和第二温度传感器采集到的温度值进行恒温控制，在温控区域内的温度达到稳定条件的情况下，将相邻的两个温度传感器采集的温度值之间的温度差值作为与目标参考温度对应的目标温度补偿参数更新到补偿参数配置表中。在获取温度补偿参数的过程中，采用历史温度补偿参数持续对温控区域进行恒温控制，可以避免温控区域内的温度出现较大的波动，可以解决由于温度波动导致无法获取温度补偿参数的问题。