一种射频电源的功率采集电路及方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种射频电源的功率采集电路及方法，所述功率采集电路包括：定向耦合器，用于采集射频电源的第一输出电压；DAC转换模块，用于根据输入的数字量，输出相应的第二输出电压；比较器模块，用于比较所述DAC转换模块的所述第二输出电压和所述定向耦合器的所述第一输出电压，并根据比较结果输出比较电压；控制器，用于根据比较器模块的所述比较电压，调整输入至所述DAC转换模块的数字量，以及根据满足预设条件时输出的目标数字量，确定射频电源的输出功率。本发明使用DAC转换模块代替了ADC转换模块和乘法器，降低了射频电源制造成本，降低了测量的系统误差，提高了功率测量的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种射频电源的功率采集电路及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114362553A
申请号 ：
CN202111556694.3
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈虹周航李加波乔世波李光健
申请人 ：
西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
苏培华
优先权 ：
CN202111556694.3
主分类号 ：
H02M7/02
IPC分类号 ：
H02M7/02 H02M3/157 H02M1/14
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02M 7/02
申请日 : 20211217
申请日 : 20211217
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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